APP黄色片領域的熱門問題
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目前,真空行業使用的大多數機械APP黄色片都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空免费看大片的領域的擴大,原有的機械APP黄色片及其組成的抽氣係統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流汙染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由於某些工藝過程中的反應物質使APP黄色片內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作
對於普通的無油真空係統來說,雖然可用油封式APP黄色片加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使係統顯得複雜。而使用適當型式的幹式機械APP黄色片,則可以達到理想的使用效果
幹式機械APP黄色片的免费看大片的是廣泛的,主要有以下幾個方麵:
(1)低壓化學氣相沉積中的多晶矽製備工藝中
(2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
(3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的幹式機械APP黄色片可以滿足要求
(4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成汙染,適合用幹式APP黄色片
(5)用做一般無油清潔真空係統的前級泵,以防止油汙染
近年來,幹式機械APP黄色片得到迅速的發展,國外多家大真空公司都研製出了新型的幹式械APP黄色片。國內的許多單位也一直在進行幹式機械APP黄色片的開發研製工作,如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海APP黄色片廠等。目前,幹式機械APP黄色片主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的幹式泵有葉片式、凸輪式、往複活塞式、膜片式等,這類泵的速度較低,適用於小容量高壓縮比(單級壓縮比)。非接觸型的幹式泵有羅茨型、爪型、螺杆型、渦旋型等,其速度較高,適用大容量,低壓縮比(指單級壓縮比)。不同類型的幹式泵具有各自的特點。使用時可根據不同的用途加以選擇
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